真空泵有哪几种

　　真空泵的分类：

　　按工作原理分类：

　　1、气体输送泵，包括变容真空泵、动量传输泵；

　　2、气体捕集泵，包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。

　　按真空度分类：

　　1、粗真空度；

　　2、高真空度，包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵；

　　3、超高真空度。

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